100.000 stofzuiveringsniveau
1. De luchtzuiverheid van de cleanroom moet als volgt worden getest
(1) Lege toestand, statische test
Lege statustest: de cleanroom is voltooid, het gezuiverde airconditioningsysteem is normaal in bedrijf en de test wordt uitgevoerd zonder procesapparatuur en productiepersoneel in de kamer.
Statische test: het airconditioningsysteem voor de zuivering van de cleanroom is in normaal bedrijf, de procesapparatuur is geïnstalleerd en de test wordt uitgevoerd zonder productiepersoneel in de kamer.
(Twee) dynamische test
De cleanroom is getest onder normale productieomstandigheden.
De detectie van luchtvolume, windsnelheid, positieve druk, temperatuur, vochtigheid en geluid in de cleanroom kan worden uitgevoerd in overeenstemming met de relevante voorschriften voor algemeen gebruik en airconditioning.
Tabel met luchtreinheidsniveaus voor schone kamers (gebied).
| Netheidsniveau | Maximaal toegestaan aantal stofdeeltjes/m3≥0,5μmAantal stofdeeltjes | ≥5μmAantal stofdeeltjes | Maximaal toegestaan aantal micro-organismen Planktonische bacteriën/m3 | Bezinkende bacteriën/schotel |
| 100klas | 3.500 | 0 | 5 | 1 |
| 10.000klas | 350，000 | 2，000 | 100 | 3 |
| 100，000klas | 3，500，000 | 20，000 | 500 | 10 |
| 300，000klas | 10，500，000 | 60，000 | 1000 | 15 |
