1. Luchttoevoer- en uitlaatvolume: Als het een cleanroom met turbulente stroming is, moet het luchttoevoer- en uitlaatvolume worden gemeten.Als het een cleanroom met eenrichtingsstroom is, moet de windsnelheid worden gemeten.
2. Controle van de luchtstroom tussen gebieden: Om te bewijzen dat de richting van de luchtstroom tussen gebieden correct is, dat wil zeggen de luchtstroom van een schoon gebied naar een gebied met een slechte reinheid, is het noodzakelijk om het volgende te detecteren:
(1) Het drukverschil tussen elk gebied is correct.
(2) De luchtstroom bij de deuropening of bij de opening van muur en vloer beweegt in de goede richting, dat wil zeggen van het schone gebied naar het gebied met een slechte reinheid.
3. Filterlekdetectie:Het hoogrendementfilteren het buitenframe moet worden geïnspecteerd om ervoor te zorgen dat zwevende verontreinigende stoffen niet passeren:
(1)Het beschadigde filter
(2) De opening tussen het filter en het buitenframe
(3)Andere delen van het filterapparaat dringen de kamer binnen
4. Isolatielekdetectie: Deze test is bedoeld om te bewijzen dat zwevende verontreinigende stoffen niet in de lucht doordringenschone kamervia de bouwmaterialen.
5. Controle van de luchtstroom binnenshuis: Het type luchtstroomcontroletest hangt af van het luchtstroompatroon van de cleanroom – of deze nu turbulent of unidirectioneel is.Als de luchtstroom in de cleanroom turbulent is, moet worden geverifieerd dat er geen delen van de ruimte zijn waar de luchtstroom onvoldoende is.Als het een eenrichtingscleanroom betreft, moet worden geverifieerd dat de windsnelheid en -richting van de gehele ruimte voldoen aan de ontwerpeisen.
6. Zwevende deeltjesconcentratie en microbiële concentratie: Als deze bovenstaande tests aan de vereisten voldoen, worden de deeltjesconcentratie en microbiële concentratie (indien nodig) uiteindelijk gemeten om te verifiëren dat ze voldoen aan de technische voorwaarden van het cleanroomontwerp.
Posttijd: 17 januari 2022